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小型磁控射頻濺射鍍膜儀是一款小型臺式單靶等離子濺射儀（射頻磁控型）✘·•▩，配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源✘·•▩，此款裝置主要用於製作非導電薄膜✘·•▩，特別是一些氧化物薄膜▩·▩╃☁。對於新型非導電薄膜的探索✘·•▩，它是一款廉價並且高效的實驗幫手▩·▩╃☁。
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