雙靶磁控濺射儀是一款帶有兩個靶頭的磁控濺射鍍膜儀◕✘,其中一個靶頭採用直流(DC)濺射◕✘,可濺射金屬靶材製備金屬膜◕✘,另一個採用射頻(RF)濺射◕✘,可濺射金屬和氧化物靶材◕✘,製備金屬或氧化物膜.裝置上安裝有薄膜測厚儀可以實時監測薄膜的厚度╃╃·◕▩。此裝置可製作各種單層或多層薄膜◕✘,如鐵電╃↟│◕、導電◕✘,合金◕✘,半導體◕✘,陶瓷◕✘,介電◕✘,光學◕✘,氧化物和PTFE薄膜等╃╃·◕▩。而且裝置體積較小操作方便◕✘,是一套理想的實驗工具╃╃·◕▩。
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