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HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭•▩↟↟,可適用的靶材種類較廣•▩↟↟,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材↟╃╃₪•。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上•▩↟↟,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性↟╃╃₪•。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用↟╃╃₪•。
500W直流濺射電源--DC-500-LD
HVMSS-SPC-1-LD是一款磁控濺射頭•▩↟↟,可安裝直徑為1英寸的靶材↟╃╃₪•。可與直流✘▩✘☁↟、脈衝直流和射頻電源相匹配•▩↟↟,以至於可以濺射各種靶材(如金屬✘▩✘☁↟、陶瓷✘▩✘☁↟、磁性和非磁性靶材等)↟╃╃₪•。而且高真空的結構設計•▩↟↟,可提高鍍膜質量↟╃╃₪•。
本公司提供高真空腔體•▩↟↟,客戶可自行為一些實驗搭建真空系統•▩↟↟,如等離子濺射•▩↟↟,CVD或ALD等實驗•▩↟↟,同時也可作為高真空儲存箱↟╃╃₪•。
RF-100-LD是一款小型手動匹配100WRF(射頻)電源•▩↟↟,頻率為13.56MHz.此裝置設計專門與本公司的1英寸的磁控濺射頭配用•▩↟↟,可搭建起一套比較廉價的濺射鍍膜系統•▩↟↟,用於製作非導電薄膜↟╃╃₪•。
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