相關文章
EQ-TM106膜厚監測儀是採用石英晶體振盪原理◕✘·▩₪,結合先進的頻率測量技術◕✘·▩₪,進行膜厚的線上監測↟◕·。主要應用於MBE▩•▩✘•、OLED熱蒸發▩•▩✘•、磁控濺射等裝置的薄膜製備過程中◕✘·▩₪,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測↟◕·。根據實時速率可以輸出PWM模擬量◕✘·▩₪,作為膜厚感測器使用◕✘·▩₪,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制↟◕·。
VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統◕✘·▩₪,系統中包含了所有所需的配件◕✘·▩₪,如500W(600V)的DC電源▩•▩✘•、2英寸的磁控濺射頭▩•▩✘•、石英真空腔體▩•▩✘•、真空泵和溫度控制器等↟◕·。對於製作一些金屬薄膜◕✘·▩₪,它是一款物美價廉的實驗手↟◕·。
VTC-2RF是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統◕✘·▩₪,系統中包含了所有所需的配件◕✘·▩₪,如300W(13.5MHz)的RF電源▩•▩✘•、2“的磁控濺射頭▩•▩✘•、石英真空腔體▩•▩✘•、真空泵和溫度控制器等↟◕·。對於製作一些金屬薄膜及非金屬薄膜◕✘·▩₪,它是一款物美價廉的實驗幫手↟◕·。
VTC-1RF是一款小型臺式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型)◕✘·▩₪,配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源◕✘·▩₪,此款裝置主要用於製作非導電薄膜◕✘·▩₪,特別是一些氧化物薄膜↟◕·。對於新型非導電薄膜的探索◕✘·▩₪,它是一款廉價並且高效的實驗幫手↟◕·。
VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀是一款帶有兩個靶頭的磁控濺射鍍膜儀◕✘·▩₪,其中一個靶頭採用直流(DC)濺射◕✘·▩₪,可濺射金屬靶材製備金屬膜◕✘·▩₪,另一個採用射頻(RF)濺射◕✘·▩₪,可濺射金屬和氧化物靶材◕✘·▩₪,製備金屬或氧化物膜.裝置上安裝有薄膜測厚儀可以實時監測薄膜的厚度↟◕·。此裝置可製作各種單層或多層薄膜◕✘·▩₪,如鐵電▩•▩✘•、導電◕✘·▩₪,合金◕✘·▩₪,半導體◕✘·▩₪,陶瓷◕✘·▩₪,介電◕✘·▩₪,光學◕✘·▩₪,氧化物和PTFE薄膜等↟◕·。而且裝置體積較小操作方便◕✘·▩₪,是一套理想的實驗工具↟◕·。
聯絡我們
中美合資合肥科晶材料技術有限公司 公司地址▩•↟:安徽省合肥市蜀山區科學院路10號 技術支援▩•↟:化工儀器網掃一掃 更多精彩
微信二維碼
網站二維碼