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GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發鍍膜儀╃·,特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜╃·,如Ti, Al 和Au等╃·,也可蒸鍍各種氧化物材料▩│✘▩。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對於實驗研究╃·,這是一款鍍膜效果理想並且價效比較高的實驗裝置▩│✘▩。
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發管式爐╃·,專門針對於用PVD或CSS法來製作薄膜▩│✘▩。此款管式爐爐管直徑為11" OD╃·,爐管內載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片▩│✘▩。加熱元件為兩組紅外燈管╃·,分別安裝在腔體的頂端和底部╃·,其升溫速率高達20?C/S ▩│✘▩。溫控系統為PID30段程式化控制╃·,控溫精度為+/-1?C▩│✘▩。儀器面板上帶有RS485介面╃·,若儀表內配有控溫軟體╃·,就可將升溫程式和曲線匯出
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