加熱型紫外臭氧清洗機

簡要描述││：PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機╃•◕，其加熱溫度可達150℃╃↟│▩。此款裝置可用於清洗各種基片╃•◕，為製作高質量的薄膜打好基礎╃↟│▩。特別適合移除光刻膠╃•◕，改善表面潤溼性╃•◕，清洗SEM &TEM╃•◕，紫外對聚合物改性等╃↟│▩。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸◕╃·₪、乾燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段╃•◕，特別適合清除一些有機化合物╃↟│▩。紫外燈主要發出兩種波長的光││：185nm和254nm╃↟│▩。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧

產品型號││：PCE-22
廠商性質││：生產廠家
更新時間││：2021-11-15
訪問量││：1765

產品諮詢線上交流

產品目錄

-科晶最新裝置產品

檢視全部

詳細介紹

PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機╃•◕，其加熱溫度可達150℃╃↟│▩。此款裝置可用於清洗各種基片╃•◕，為製作高質量的薄膜打好基礎╃↟│▩。特別適合移除光刻膠╃•◕，改善表面潤溼性╃•◕，清洗SEM &TEM╃•◕，紫外對聚合物改性等╃↟│▩。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸◕╃·₪、乾燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段╃•◕，特別適合清除一些有機化合物╃↟│▩。紫外燈主要發出兩種波長的光││：185nm和254nm╃↟│▩。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧╃•◕，254nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）╃↟│▩。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物╃↟│▩。

技術引數

電源	AC 208~240V╃•◕，單相 50/60Hz
紫外燈	可發出雙波長的水銀燈功率││：55W 發出光的波長││：254 nm 和 185 nm 使用壽命││：2500 小時（可在本公司購買紫外燈來更換）照射區域││：200 x 200 mm
腔體&樣品臺	不鏽鋼殼體抽屜式樣品臺╃•◕，以便放樣取樣樣品檯面積310 mm x 320 mm 臭氧通風裝置安裝在腔體上樣品臺與紫外燈的距離││：20mm -40mm（可調）樣品臺可以加熱╃•◕，zui高溫度可達150℃ 可設定20段升降溫程式╃•◕，控溫精度為+/-1℃ 裝置執行時間││：0.01 秒- 99.9小時
排氣口	直徑為80mm的排氣口安裝在儀器後端請將橡膠管與排氣口連線╃•◕，將臭氧排出到實驗室外儀器中不包含橡膠管
外形尺寸	510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
淨重	28kg
質保期	一年質保期╃•◕，終生維護（不包含紫外燈）
應用	去除分子級別的汙染物紫外光固化粘合劑紫外光催化氧化PDMS 表面消毒刻蝕清洗MEMS 器件清洗各種基片╃•◕，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片