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加熱型紫外臭氧清洗機

簡要描述││:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機╃•◕,其加熱溫度可達150℃╃↟│▩。此款裝置可用於清洗各種基片╃•◕,為製作高質量的薄膜打好基礎╃↟│▩。特別適合移除光刻膠╃•◕,改善表面潤溼性╃•◕,清洗SEM &TEM╃•◕,紫外對聚合物改性等╃↟│▩。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸◕╃·₪、乾燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段╃•◕,特別適合清除一些有機化合物╃↟│▩。紫外燈主要發出兩種波長的光││:185nm和254nm╃↟│▩。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧

  • 產品型號││:PCE-22
  • 廠商性質││:生產廠家
  • 更新時間││:2021-11-15
  • 訪  問  量││:1765
詳細介紹

 PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機╃•◕,其加熱溫度可達150℃╃↟│▩。此款裝置可用於清洗各種基片╃•◕,為製作高質量的薄膜打好基礎╃↟│▩。特別適合移除光刻膠╃•◕,改善表面潤溼性╃•◕,清洗SEM &TEM╃•◕,紫外對聚合物改性等╃↟│▩。
   紫外臭氧清洗提供了一種無酸◕╃·₪、乾燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段╃•◕,特別適合清除一些有機化合物╃↟│▩。紫外燈主要發出兩種波長的光││:185nm和254nm╃↟│▩。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧╃•◕,254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)╃↟│▩。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物╃↟│▩。

 

技術引數

電源

AC 208~240V╃•◕,單相 50/60Hz

紫外燈

  • 可發出雙波長的水銀燈
  • 功率││:55W
  • 發出光的波長││:254 nm 和 185 nm 
  • 使用壽命││:2500 小時(可在本公司購買紫外燈來更換)
  • 照射區域││:200 x 200 mm

腔體&樣品臺

  • 不鏽鋼殼體
  • 抽屜式樣品臺╃•◕,以便放樣取樣
  • 樣品檯面積310 mm x 320 mm
  • 臭氧通風裝置安裝在腔體上
  • 樣品臺與紫外燈的距離││:20mm -40mm(可調)
  • 樣品臺可以加熱╃•◕,zui高溫度可達150℃
  • 可設定20段升降溫程式╃•◕,控溫精度為+/-1℃
  • 裝置執行時間││:0.01 秒- 99.9小時

排氣口

  • 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器後端
  • 請將橡膠管與排氣口連線╃•◕,將臭氧排出到實驗室外
  • 儀器中不包含橡膠管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

淨重

28kg

質保期

一年質保期╃•◕,終生維護(不包含紫外燈)

應用

  • 去除分子級別的汙染物
  • 紫外光固化粘合劑
  • 紫外光催化
  • 氧化PDMS
  • 表面消毒
  • 刻蝕
  • 清洗MEMS 器件
  • 清洗各種基片╃•◕,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
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