1200℃ 4英寸雙溫區迴轉CVD管式爐

爐體結構

• 雙層爐體結構│•↟，並帶有風冷系統
• 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料│•↟，並且表面塗有氧化鋁塗層
• 採用直流電機帶動爐管轉動│•↟，其轉速▩☁↟：0 - 10 RPM
• 爐體可傾斜│•↟，zui大傾斜角度為30°
• 爐體開啟式設計│•↟，可以達到快速冷卻和便於更換爐管

自動送料器

• 爐體上安裝有自動送料器│•↟，帶有密封結構│•↟，可在惰性氣體保護環境下│•↟，將粉料送入到爐管內
• 送料速率可以透過電位計調節│•↟，zui大送料速率為▩☁↟：97cm^3/min
• 一個不鏽鋼收料罐（容積為1L）│•↟，安裝在出料端│•↟，可以在氣氛保護環境下收集處理好的物料
•     

加熱區長度

• 2個加熱區│•↟，每個加熱區長度為200mm,總加熱區長度為400mm
• 恆溫區長度▩☁↟：200 mm（+/- 1℃│•↟，兩個溫區設定同樣的溫度）

爐管&密封法蘭

• 石英爐管尺寸:  100 mm O.Dx 1200 mm L （異型管）
• 兩端直徑為60mm) 

• Four Mixing Blades	Dimension

• 爐管中焊有楊料板│•↟，可以更好的使材料混合
• 儀器中包含一對不鏽鋼密封法蘭（法蘭上安裝有不鏽鋼針閥和旋轉接頭）

工作溫度

• zui高工作溫度▩☁↟：1200℃（＜1小時）
• 連續工作溫度▩☁↟：1100℃

溫控系統&熱電偶

• 兩個溫區有兩個獨立的溫控系統控制│•↟，都可設定30段升降溫程式
• 採用Omega K型熱偶

爐管轉動速度

0 - 10 RPM（可調）

傾斜角度

 左: 0~30°▩☁↟： 右: 0~15°

極限真空度

4.5x10^-2 torr（採用機械泵）

功率

• 迴轉爐▩☁↟：4KW
• 送料器▩☁↟：200W

電壓

AC208 - 240V 單相 (需要30 A的空氣開關)

質保期

一年質保期│•↟，終生維護（不包含爐管│•↟，密封圈和加熱元件）

質量認證

• CE認證
• 所有電器元件（>24V）都透過UL / MET / CSA認證
• 若客戶出認證費用│•↟，本公司保證單臺裝置透過德國TUV認證或CAS認證
       

儀器尺寸

• 爐體: 1300mm × 600mm × 1200mm 
• 送料器: 220mm × 220mm × 202mm 

淨重

125kg

應用

• 可配合本公司的供氣系統│•↟，採用CVD方法對粉體材料進行包覆和表面修飾
• 可選購大容量的自動送料器
• 

警告

• 爐管內氣壓不可高於0.02MPa
• 由於氣瓶內部氣壓較高│•↟，所以向爐管內通入氣體時│•↟，氣瓶上必須安裝減壓閥│•↟，建議在本公司選購減壓閥│•↟，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當爐體溫度高於1000℃時│•↟，爐管內不可處於真空狀態│•↟，爐管內的氣壓需和大氣壓相當│•↟，保持在常壓狀態
• 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM│•↟，以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對於樣品加熱的實驗│•↟，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用•◕₪。若需要關閉氣閥對樣品加熱│•↟，則需時刻關注壓力錶的示數│•↟，若氣壓表示數大於0.02MPa│•↟，必須立刻開啟洩氣閥│•↟，以防意外發生（如爐 管破裂│•↟，法蘭飛出等）