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小型大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S

簡要描述↟•▩↟│:OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐◕☁◕▩₪,其Z高工作溫度可以達到1000℃·₪☁·。爐管Φ130mm的高純石英管·₪☁·。裝置配有一對不鏽鋼密封法蘭◕☁◕▩₪,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理·₪☁·。對於控溫系統◕☁◕▩₪,可設定30段升降溫程式◕☁◕▩₪,控溫精度為+/- 1℃·₪☁·。此款管式爐Z多可對4英寸的晶片進行退火·₪☁·。

  • 產品型號↟•▩↟│:OTF-1200X-5S
  • 廠商性質↟•▩↟│:生產廠家
  • 更新時間↟•▩↟│:2021-11-15
  • 訪  問  量↟•▩↟│:1511
詳細介紹

OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐◕☁◕▩₪,其zui高工作溫度可以達到1000℃·₪☁·。爐管Φ130mm的高純石英管·₪☁·。裝置配有一對不鏽鋼密封法蘭◕☁◕▩₪,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理·₪☁·。對於控溫系統◕☁◕▩₪,可設定30段升降溫程式◕☁◕▩₪,控溫精度為+/- 1·₪☁·。此款管式爐zui多可對4英寸的晶片進行退火·₪☁·。

 

技術引數

爐體結構

  • 雙層殼體結構
  • 採用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料◕☁◕▩₪,並且表面塗有高溫氧化鋁塗層◕☁◕▩₪,可提高加熱效率◕☁◕▩₪,保證溫度均勻性
  • 此款管式爐也可做為立式爐使用(點選圖片檢視詳細資料)
  •   

功率

3KW

電壓

220VAC 50/60Hz

zui高工作溫度

1000℃(<1小時)

連續工作溫度

900℃

zui大加熱速率

20℃/min

加熱區

  • 加熱區長度↟•▩↟│:300mm
  • 恆溫區長度↟•▩↟│:
  • 100 mm (+/-1ºC )
  • 140 mm (+/-2ºC ) 

溫控系統

  • 採用PID方式調節溫度◕☁◕▩₪,可設定30段升降溫程式
  • 帶有超溫和斷偶保護
  • 可選購MTS02-B控溫模組◕☁◕▩₪,可用電腦設定和顯示溫度程式
  •                

歐陸儀表(可選)

  • 可選購歐陸3504溫控儀表◕☁◕▩₪,可與LABVIEW軟體比配

控溫精度

+/- 1°C

爐管

  • 石英管◕☁◕▩₪,尺寸↟•▩↟│:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL
  • 配有2個氧化鋁管堵◕☁◕▩₪,使用裝置時應放在爐管兩端◕☁◕▩₪,保證恆溫區和法蘭密封性
  • 可選購石英管堵◕☁◕▩₪,提高爐管內的潔淨度和幫助獲得高真空
  •       

真空密封法蘭

  • 配有一對不鏽鋼密封法蘭◕☁◕▩₪,採用矽膠密封圈密封
  • 右端法蘭為KF25介面◕☁◕▩₪,用於連線真空泵
  • 左端法蘭上安裝有機械壓力錶◕☁◕▩₪,介面為1/4英寸卡套接頭◕☁◕▩₪,用於連線氣瓶
  • 真空度↟•▩↟│:10-2torr (採用機械泵)
  • 可選↟•▩↟│:5英寸的水冷鉸鏈法蘭◕☁◕▩₪,並帶有支撐架
  • 水冷法蘭通入冷卻水後◕☁◕▩₪,裝置zui高溫度可以達到1100℃(<1小時)    

真空壓力錶

  • 安裝有一機械壓力錶◕☁◕▩₪,測量範圍為-0.1~0.15MPa
  • 可選購數顯防腐真空計當氣壓在10mbar以上時◕☁◕▩₪,不需因測量氣體種類不同而進行係數轉換◕☁◕▩₪,測量範圍為3.8x10-5 -1125 Torr
  •    

鎧裝熱電偶(可選)

  • 可選購鎧裝K型熱電偶◕☁◕▩₪,透過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部◕☁◕▩₪,測量樣品的實際溫度
  • 可選購一個法蘭支撐架◕☁◕▩₪,防止爐管轉動
  •          

尺寸

  • 爐蓋開啟關閉時: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 
  • 爐蓋開啟時 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H)

淨重

48 Kg

質保期

一年質保期◕☁◕▩₪,終生維護(不包含爐管◕☁◕▩₪,密封圈和加熱元件)

質量認證

  • CE認證
  • 所有電器元件(>24V)都透過UL / MET / CSA認證
  • 若客戶出認證費用◕☁◕▩₪,本公司保證單臺裝置透過德國TUV認證或CAS認證
  •      

應用注意事項

  •  
  • 爐管內氣壓不可高於0.02MPa
  • 由於氣瓶內部氣壓較高◕☁◕▩₪,所以向爐管內通入氣體時◕☁◕▩₪,氣瓶上必須安裝減壓閥◕☁◕▩₪,建議在本公司選購減壓閥◕☁◕▩₪,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
  • 當爐體溫度高於1000℃時◕☁◕▩₪,爐管內不可處於真空狀態◕☁◕▩₪,爐管內的氣壓需和大氣壓相當◕☁◕▩₪,保持在常壓狀態
  • 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM◕☁◕▩₪,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊
  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
  • 對於樣品加熱的實驗◕☁◕▩₪,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用·₪☁·。若需要關閉氣閥對樣品加熱◕☁◕▩₪,則需時刻關注壓力錶的示數◕☁◕▩₪,若氣壓表示數大於0.02MPa◕☁◕▩₪,必須立刻開啟洩氣閥◕☁◕▩₪,以防意外發生(如爐 管破裂◕☁◕▩₪,法蘭飛出等)
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