諮詢熱線

18255163376

當前位置│✘│:首頁   >  產品中心  >  薄膜製備全套裝置  >  雙靶磁控濺射儀  >  VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀

雙靶磁控濺射儀

簡要描述│✘│:雙靶磁控濺射儀是一款帶有兩個靶頭的磁控濺射鍍膜儀↟✘•▩•,其中一個靶頭採用直流(DC)濺射↟✘•▩•,可濺射金屬靶材製備金屬膜↟✘•▩•,另一個採用射頻(RF)濺射↟✘•▩•,可濺射金屬和氧化物靶材↟✘•▩•,製備金屬或氧化物膜.裝置上安裝有薄膜測厚儀可以實時監測薄膜的厚度↟☁▩☁·。此裝置可製作各種單層或多層薄膜↟✘•▩•,如鐵電◕₪✘•↟、導電↟✘•▩•,合金↟✘•▩•,半導體↟✘•▩•,陶瓷↟✘•▩•,介電↟✘•▩•,光學↟✘•▩•,氧化物和PTFE薄膜等↟☁▩☁·。而且裝置體積較小操作方便↟✘•▩•,是一套理想的實驗工具↟☁▩☁·。

  • 產品型號│✘│:VTC-600-2HD
  • 廠商性質│✘│:生產廠家
  • 更新時間│✘│:2022-10-12
  • 訪  問  量│✘│:3079

詳細介紹

技術引數

結構

(點選圖片檢視詳細資料)

輸入電源

  • 220VAC 50/60Hz, 單相
  • 2000W  (包括泵)

濺射電源

  • 安裝有兩個濺射電源
  • 直流(DC)電源│✘│:500W↟✘•▩•,針對於製作金屬膜
  • 射頻(RF)電源│✘│:600W↟✘•▩•,可製作氧化物和金屬膜
  • 同時可選配300W的射頻電源

磁控濺射頭

  • 儀器中安裝有2個磁控濺射頭↟✘•▩•,而且都帶有水冷夾層↟✘•▩•,可通入冷卻水對靶材降溫
  • 其中一個濺射頭與射頻電源相連線↟✘•▩•,主要是濺射絕緣性靶材
  • 另一個濺射頭與直流電源相連線↟✘•▩•,主要濺射導電性靶材
  • 靶材尺寸要求│✘│:金屬靶│✘│:直徑為50mm,zui大厚度1.5mm
  •              陶瓷靶│✘│:直徑為50mm,zui大厚度6mm
  • 儀器中標配一個不鏽鋼靶和氧化鋁陶瓷靶
  • 濺射頭所需冷卻水│✘│:流速10ml/min(儀器中配有一臺流速為16ml/min的迴圈水冷機)

也可以根據自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭↟✘•▩•,訂購前需於本公司銷售人員

真空腔體

  • 真空腔體│✘│:300 mm Dia x 300 mm h↟✘•▩•,採用不鏽鋼製作
  • 觀察視窗│✘│:  100 mm diameter
  • 腔體開啟方式採用上頂開↟✘•▩•,使得換靶更加容易

載樣臺

  • 載樣臺尺寸│✘│:140mm dia.(zui大可放置4"的基底)
  • 載樣臺可以旋轉↟✘•▩•,其速度為│✘│:1 - 20 rpm (可調)
  • 載樣臺zui高可加熱溫度為500℃↟✘•▩•,控溫精度為+/- 1.0 °C

氣體流量控制器

  • 儀器內部安裝有2個質量流量計
  • 量程為│✘│:0-200sccm
  • 氣體流量設定可以在6英寸的觸控式螢幕上進行操作

真空泵系統

配有一套分子泵系統(德國製作)↟✘•▩•,採用一鍵式操作

薄膜測厚儀

  • 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上↟✘•▩•,可實時監測薄膜的厚度↟✘•▩•,解析度為0.10 Å  
  • LED顯示屏顯示↟✘•▩•,同時也輸入所製作薄膜的相關資料

外形尺寸

L1300mm× W660mm× H1200mm

重量

160 kg

質保期

一年質保期↟✘•▩•,終生維護

 

 

產品諮詢

留言框

  • 產品│✘│:

  • 您的單位│✘│:

  • 您的姓名│✘│:

  • 聯絡電話│✘│:

  • 常用郵箱│✘│:

  • 省份│✘│:

  • 詳細地址│✘│:

  • 補充說明│✘│:

  • 驗證碼│✘│:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字)↟✘•▩•,如│✘│:三加四=7

聯絡我們

中美合資合肥科晶材料技術有限公司 公司地址│✘│:安徽省合肥市蜀山區科學院路10號   技術支援│✘│:化工儀器網
  • 聯絡人│✘│:朱沫浥
  • QQ│✘│:2880135211
  • 公司傳真│✘│:86-551-65592689
  • 郵箱│✘│:sales@kjmti.com

掃一掃 更多精彩

微信二維碼

網站二維碼

欧美jizzhd精品欧美,国产三级a三级三级,性激烈的欧美三级视频,a级毛片免费观看在线播放