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直流等離子磁控濺射鍍膜儀是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統✘✘,系統中包含了所有所需的配件✘✘,如500W(600V)的DC電源▩·•│、2英寸的磁控濺射頭▩·•│、石英真空腔體▩·•│、真空泵和溫度控制器等│☁✘☁。對於製作一些金屬薄膜✘✘,它是一款物美價廉的實驗手│☁✘☁。
用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜
直流等離子磁控濺射鍍膜儀技術引數
輸入電源 |
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等離子源 |
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磁控濺射頭 |
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真空腔體 |
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載樣臺 |
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真空泵 | 可選用直聯式雙極旋片泵,也可選用德國製作的分子泵系統 |
薄膜測厚儀 |
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外形尺寸 | |
重量 | 70Kg |
質保和質量認證 |
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使用注意事項 |
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