射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

輸入電源

• 220VAC 50/60Hz, 單相
• 800W  (包括真空泵）

等離子源

一個300W☁✘◕，13.5MHz的射頻電源安裝在移動櫃內

(點選圖片檢視詳細資料）

磁控濺射頭

• 一個 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層）☁✘◕，採用快速接頭與真空腔體相連線
• 靶材尺寸: 直徑為50mm,zui大厚度6.35mm
• 一個快速擋板安裝在法蘭上（手動操作☁✘◕，見圖左3）
• 濺射頭所需冷卻水↟·╃：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的迴圈水冷機）
• 同時可選配1英寸濺射頭
  

真空腔體

• 真空腔體↟·╃：160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H☁✘◕，採用高純石英制作
• 密封法蘭:直徑為165 mm .  採用金屬鋁製作☁✘◕，採用矽膠密封圈密封
• 一個不鏽鋼網罩住整個石英腔體☁✘◕，以遮蔽等離子體
• 真空度↟·╃：10-3 Torr （採用雙極旋片真空泵）
•         10-5 torr （採渦旋分子泵）

載樣臺

• 載樣臺可旋轉（為了制膜更加均勻）並可加熱
• 載樣臺尺寸↟·╃：直徑50mm （zui大可放置2英寸的基片）
• 旋轉速度↟·╃：1 - 20 rpm
• 樣品的zui高加熱溫度為700℃☁✘◕，(短期使用☁✘◕，恆溫不超過1小時)☁✘◕，長期使用溫度500℃
• 控溫精度+/- 10℃
  

真空泵

可選用直聯式雙極旋片泵,也可選用德國製作的分子泵系統

薄膜測厚儀

• 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上☁✘◕，可實時監控薄膜的厚度☁✘◕，解析度為0.10 ?  
• LED顯示屏顯示☁✘◕，同時也輸入所製作薄膜的相關資料
  

外形尺寸

質保和質量認證

• 一年質保期☁✘◕，終生維護
• CE認證

使用注意事項

• 這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用於在單晶基片上製備氧化物膜☁✘◕，所以並不需要太高的真空度
• 為了較好地排出真空腔體中的氧氣☁✘◕，建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗☁✘◕，可有效減少真空腔體中的氧含量
• 請用純度大於5N的Ar來進行等離子濺射☁✘◕，甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水☁✘◕，所以建議將鋼瓶中的惰性氣體透過淨化系統過後☁✘◕，再匯入到真空腔體內