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高真空蒸發鍍膜儀

簡要描述•◕│╃·:高真空蒸發鍍膜儀·▩,特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜·▩,如Ti, Al 和Au等·▩,也可蒸鍍各種氧化物材料╃│•✘。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對於實驗研究·▩,這是一款鍍膜效果理想並且價效比較高的實驗裝置╃│•✘。

  • 產品型號•◕│╃·:GSL-1800X-ZF4
  • 廠商性質•◕│╃·:生產廠家
  • 更新時間•◕│╃·:2022-10-12
  • 訪  問  量•◕│╃·:2179

詳細介紹

 

技術引數

操作影片 點選檢視

電壓

  • 輸入•◕│╃·:208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
  • 輸出•◕│╃·: 0 - 8VAC (可調)zui大電流•◕│╃·: 400A (可調)
  • zui大功率•◕│╃·:4000W(包括真空泵)

真空腔體

  • 不鏽鋼腔體•◕│╃·:280mm ID. x 375 mm H·▩,腔體內壁做了電拋光處理
  • 有一個150mm的觀察視窗(採用無氧銅密封圈密封)
  • 一個RF-150法蘭·▩,便於放入樣品╃│•✘。
  • 一個KF-40法蘭,可與真空泵相連線
  • 四個CF-35法蘭·▩,便於安裝真空計◕◕☁、電極和其他用途備用

真空泵

(點選圖片檢視詳細資料)

  • 儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵和前級泵
  • 前級泵抽速•◕│╃·:600L/S
  • 真空度•◕│╃·:5.0x10-6 torr(泵開啟後40分鐘)
  • 極限真空度•◕│╃·:5.0x10-7  torr(烘烤溫度為60-80℃)
  • 漏氣率•◕│╃·:5.0x10-7Pa./S

 

蒸發加熱源 樣品臺

  • 5個水冷電極安裝在腔體底部·▩,可支援4個鎢加熱舟
  • 每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板·▩,所以實驗時可以防止各物料之間的汙染·▩,樣品臺安裝在真空腔體頂部·▩,直徑為150mm
  • 樣品臺可以旋轉和加熱·▩,旋轉速度0-20rpm·▩,加熱zui高溫度600℃

  • 蒸發源與樣品臺的距離為250mm

測厚儀

  • 一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內部
  • 測量精度為•◕│╃·:1.0Å

迴圈水冷機

  • 儀器使用過程中需要通冷卻水·▩,為了節約用水·▩,強烈建議使用迴圈水冷機
  • 所需水流量>15L/min

   

控制單元

  • 真空◕◕☁、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內
  • 控制單元和真空腔體獨立分開·▩,以便於操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

淨重

600kg

質保

一年質保期·▩,終生維護

質量認證

CE認證

 

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