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多功能試樣表面處理機

簡要描述│╃:多功能試樣表面處理機是為掃描電鏡和電子揉針等進行試驗製備的裝置▩▩☁₪₪,可進行真空蒸碳·•、真空鍍膜和離子濺射▩▩☁₪₪,它也可以在高純氫氣保護下進行等離子處理◕▩。對於實驗室此款裝置是*的鍍膜裝置◕▩。

  • 產品型號│╃:GSL-1800X-SBC2
  • 廠商性質│╃:生產廠家
  • 更新時間│╃:2022-10-12
  • 訪  問  量│╃:1830

詳細介紹

多功能試樣表面處理機是為掃描電鏡和電子揉針等進行試驗製備的裝置▩▩☁₪₪,可進行真空蒸碳·•、真空鍍膜和離子濺射▩▩☁₪₪,它也可以在高純氫氣保護下進行等離子處理◕▩。對於實驗室此款裝置是*的鍍膜裝置◕▩。

技術引數

輸入電源

208 - 240VAC  , 10A , 50/60 Hz, 單相

功率

< 2000W  (包括真空泵)

輸出電壓 (DC)

  • AC10V  zui大電流 100A (對於真空鍍膜)
  • DC 3KV, 10mA   (對於等離子濺射)

真空腔體

 

有一玻璃鐘罩│╃:250mm dia. x 340mm

(2)玻璃處理室│╃:

  • 玻璃罩 A:內徑88mm×高度140mm(用於真空鍍膜)
  • 玻璃罩 B:內徑88mm×高度57mm(用於等離子濺射)


鍍膜裝置

 


 

對於制膜▩▩☁₪₪,儀器可設定三種模式│╃:

(1)一種模式專門針對於蒸發鍍膜(下方左圖)

  • 此儀器可以同時蒸鍍兩種材料▩▩☁₪₪,其zui高溫度可以達到1800℃
  • 採用鎢絲進行加熱

(2)蒸碳鍍膜模式(下方中圖)

儀器中包括有兩組碳棒

(3)直流等離子濺射模式(下方右圖)儀器中包含有一金靶(38mm Dia x 0.2 mm t)

  • 可在本公司選購其他材質靶材( 請點選檢視 )
  •      

    Thermal Evaporation  Carbon coating   Plasma sputtering

樣品臺

  • 樣品臺可以自動轉動(見做圖)
  • 樣品臺尺寸│╃:40mm
  • 儀器上安裝有一電動快門用於控制蒸鍍的開始與停止(見右圖)  


真空泵

  • 儀器下端安裝有一機械泵和分子泵
  • 抽速:600L/S
  • 真空度:  10-6 torr
  • 裝置工作環境溫度:< 32°C

控制面板

在控制面板上可以選擇鍍膜模式▩▩☁₪₪,調節濺射電流和蒸發功率

外型尺寸

L800mm× W560mm× H1340mm

淨重

150 kg

質保期

一年質保期▩▩☁₪₪,終身維護

質量認證

CE certified

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