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真空旋轉塗膜機--VTC-100PA(加熱型)

簡要描述✘·│:VTC-100PA真空旋轉塗膜機適用於半導體◕╃、晶體◕╃、光碟◕╃、製版等表面塗覆工藝╃•▩。本機可用於強酸◕╃、強鹼性塗覆溶液的塗膜製備╃•▩。

  • 產品型號✘·│:VTC-100PA(加熱型)
  • 廠商性質✘·│:生產廠家
  • 更新時間✘·│:2022-10-12
  • 訪  問  量✘·│:2122
詳細介紹

 VTC-100PA真空旋轉塗膜機適用於半導體◕╃、晶體◕╃、光碟◕╃、製版等表面塗覆工藝╃•▩。本機可用於強酸◕╃、強鹼性塗覆溶液的塗膜製備╃•▩。

 

 技術引數

主要特點

  • 真空吸附方式固定樣件│•▩•✘,操作簡便╃•▩。
  • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置│•▩•✘,以減少偏心而造成的震動或飛片╃•▩。
  • 根據樣件規格可以配用不同的吸盤│•▩•✘,且更換方便簡單╃•▩。
  • 設有12組程式│•▩•✘,每組包含6個執行階段╃•▩。
  • 電機啟動快速穩定│•▩•✘,可以保證塗層厚度的*性和均勻性╃•▩。
  • 50W/24V 直流電機
  • 適於在Ar氣環境中工作(真空泵放置在手套箱外)

引數

  •  電機功率✘·│:50W/24V
  •  速度範圍✘·│:500-10000rpm
  •  程式執行✘·│:可儲存12組程式│•▩•✘,每組程式包含6個執行階段
  •  增減速率設定範圍✘·│:100rpm/s-2000rpm/s
  •  時間範圍✘·│:0-60s
  •  吸盤✘·│:Φ19mm◕╃、Φ60mm
進氣口

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體│•▩•✘,實現在氣氛環境下旋轉塗覆

可選加熱部

    上蓋內部增加紅外燈管加熱│•▩•✘,採用K型熱偶測溫│•▩•✘,數字溫控器控溫│•▩•✘,zui高120℃│•▩•✘,可使得樣品塗覆後原位烘乾│•▩•✘,用於薄膜太陽能電池等研究╃•▩。

             

產品規格

  • 尺寸✘·│:450mm×280mm×340mm
  • 重量✘·│:20kg

標準配件

1

 真空吸盤(含O型圈)

2

2

 中心定位器(含4個定位柱)

1

3

 滴膠注射器(20ml

1

4

 注射器支架

1

5

 無油真空泵

1

6

 橡膠管(含卡箍)

1

可選配件

 過濾器(真空泵用)

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