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帶有預熱系統的滑動PECVD-- OTF-1200X-50-II-PE-MSL

簡要描述│││:OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PE-CVD管式爐系統✘·,組成部分為500W的射頻發生器☁✘✘·•、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐✘·,預熱爐(作用為使固體原料蒸發)和德國進口的無油泵╃☁✘╃✘。此款PE-CVD對於生長奈米線或用CVD,方法來製作各種薄膜是一款新的探索工具╃☁✘╃✘。

  • 產品型號│││:OTF-1200X-50-II-PE-M
  • 廠商性質│││:生產廠家
  • 更新時間│││:2022-10-12
  • 訪  問  量│││:1736

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詳細介紹

OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PE-CVD管式爐系統✘·,組成部分為500W的射頻發生器☁✘✘·•、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐✘·,預熱爐(作用為使固體原料蒸發)和德國進口的無油泵╃☁✘╃✘。此款PE-CVD對於生長奈米線或用CVD,方法來製作各種薄膜是一款新的探索工具╃☁✘╃✘。

技術引數

特點
  • 與普通CVD相比較✘·,其沉積溫度大大降低✘·,減少了高溫多薄膜損壞
  • 可以透過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果
  • 爐體有兩個溫區✘·,可在爐體內形成溫度梯度✘·,兩個溫區zui大溫差為400℃
  • 管式爐zui高工作溫度為1100℃
  • 帶有預熱爐✘·,zui高溫度為1100℃✘·,氣體可透過此爐預熱也可將液體蒸發氣化或固體原料昇華後與氣體原料混合╃☁✘╃✘。

雙溫區滑軌爐
 

(點選圖片檢視詳細資料)

  • 連續工作zui高溫度為1100℃
  • 爐膛保溫材料採用高純氧化鋁多晶纖維✘·,並且內爐膛表面塗有美國進口的1750度高溫氧化鋁塗層✘·,可以提高加熱效率✘·,反射率及延長儀器的使用壽命(點選文字檢視詳細資料)
  • 兩個溫控系統獨立控制兩個溫區✘·,都可設定30段升降溫程式
  • 每個溫區長度為200mm
  • 總溫區長度│││:400mm
  • 恆溫區│││:200mm(兩個溫區設定同樣的溫度)
  • 兩個溫區zui大溫差為│││:400
  • 爐管材料│││:高純石英管
  • 石英管尺寸│││:50mm OD x 44ID x 2200mm L
  • 所需電源: 208 – 240V AC單相
  • zui大功率│││: 4KW

等離子射頻發生器
 

  • 輸出功率: 5 -500W可調
  • 穩定性為│││:+/-1%
  • 射頻電源頻率│││:13.56 MH, 穩定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W 
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導體陰極
  • 噪音:<50 dB.
  • 冷卻方式│││:空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  

預熱爐

 

  • 一款小型單溫區管式爐✘·,加熱區為200mm
  • zui高溫度:  1100ºC
  • 可設定30段升降溫程式
  • 控溫儀表操作影片
  • 氣體透過等離子射頻電源前✘·,先透過預熱爐
  • 也可將固體和液體原料放在預熱爐中✘·,氣化後與氣體原料相混合

防腐型數顯真空計
 

  • 測量範圍3.8x10-5  1125 Torr
  • 當氣壓在10mbar以上時✘·,可獨立測量各種氣體✘·,不必做校正(包括混合氣體)
  • 對於氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重複性
  • 訊號響應時間較短(≤30ms)
  • 因為感測器上鍍有防腐塗層✘·,所以具有較好的抗腐蝕性

真空泵和閥

 

  • 可以從本公司選購以下幾種真空泵
  • 如您想獲得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可選國產或進口高真空機組
  • 配有擋板閥☁✘✘·•、波紋管卡箍等真空配件
  •           

電動滑軌

  • 可將電動滑軌安裝在爐體下端✘·,將爐體滑動✘·,以達到快速升溫和快速降溫的效果
  • 滑動速度│││:0-70 mm/s(可調)

升溫和降溫速率

 

  • RS485介面和控溫軟體可安裝在爐體內✘·,將控溫程式和溫度曲線匯入電腦中(儀器中不包含✘·,客戶需額外出費用在本公司購買)
  • 為了獲得zui大的升溫速率✘·,可將爐體升溫到設定溫度✘·,然後將爐體滑到樣品盛放位置

加熱速率

15°C/sec (RT - 150°C);

10°C/sec (150°C - 250°C);

7°C/sec (250°C - 350°C);

4°C/sec (350°C - 500°C);

3°C/sec (350°C - 550°C);

2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

 

可選

可以選購2-4通道質子流量計混氣系統(精度1.5%

  

外形尺寸

  • 爐體: 550 x 380 x 520  mm 
  • 滑軌長度│││:1750 mm 
淨重220 Lbs.

質保期

一年質保期✘·,終生維護(不包括爐管☁✘✘·•、密封圈和加熱元件)

質量認證

    CE Certified

使用注意事項│││:
  • 爐管內氣壓不可高於0.02MPa
  • 由於氣瓶內部氣壓較高✘·,所以向爐管內通入氣體時✘·,氣瓶上必須安裝減壓閥✘·,建議在本公司選購減壓閥✘·,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
  • 當爐體溫度高於1000℃時✘·,爐管內不可處於真空狀態✘·,爐管內的氣壓需和大氣壓相當✘·,保持在常壓狀態
  • 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM✘·,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊
  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
  • 對於樣品加熱的實驗✘·,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用╃☁✘╃✘。若需要關閉氣閥對樣品加熱✘·,則需時刻關注壓力錶的示數✘·,若氣壓表示數大於0.02MPa✘·,必須立刻開啟洩氣閥✘·,以防意外發生(如爐管破裂✘·,法蘭飛出等)

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