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2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

簡要描述│·:HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭✘₪,可適用的靶材種類較廣✘₪,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材↟╃╃☁✘。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上✘₪,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性↟╃╃☁✘。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用↟╃╃☁✘。

  • 產品型號│·:
  • 廠商性質│·:生產廠家
  • 更新時間│·:2022-10-11
  • 訪  問  量│·:951
詳細介紹

    HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭✘₪,可適用的靶材種類較廣✘₪,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材↟╃╃☁✘。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上✘₪,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性↟╃╃☁✘。此款濺射頭可與DCRF電源配合使用↟╃╃☁✘。


技術引數

特徵

(點選圖片檢視詳細資料)

 

  • 採用高質量的不鏽鋼和陶瓷材料製作
  • 採用電磁場的有元計算法來設計永磁體✘₪,以得到較高的磁場強度和均強場分佈
  • 磁體表面塗有一層保護層✘₪,以防止冷卻水的腐蝕✘₪,延長其使用壽命
  • 標準的HN型接頭✘₪,可與DCRF電源相匹配
  • 安裝是採用標準真空接頭✘₪,便於操作
  • 更換靶材較為簡單✘₪,無需調整濺射頭的高度

所需功率

  • DC(zui大)1000W
  • RF(zui大)500W

zui大濺射電流

3A

濺射電壓

100-1000 V

濺射時腔體真空度

5-100 mTorr

濺射均勻性曲線圖

尺寸

  • 陽極護套直徑│·:3.5英寸
  • 總長度│·:14英寸

靶材

  • 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
  • 厚度對於非磁性靶材✘₪,zui大厚度為1/4英寸
             
    對於磁性靶材✘₪,zui大厚度為1/16英寸
  • 靶材利用率│·:30%
  • 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水

  • 流速:   0.8 GPM
  • 進水溫度:<20 ℃
  • 水管:0.25" OD.

可選配件

  • 當同時購買300W射頻發射器和2英寸磁控濺射頭時✘₪,本公司會贈送一高真空快速接頭
  • 此快速接頭的內徑為0.75英寸✘₪,可將濺射頭安裝在真空腔體上✘₪,真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸✘₪,真空腔體的壁厚不得大於1英寸
     
  • 迴圈水冷機✘₪,流量為16L / min ✘₪,水箱容積為6L

質保

一年質保期✘₪,終生維護

 

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