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高真空腔體--HVC-SS

簡要描述│◕:本公司提供高真空腔體↟◕,客戶可自行為一些實驗搭建真空系統↟◕,如等離子濺射↟◕,CVD或ALD等實驗↟◕,同時也可作為高真空儲存箱✘·。

  • 產品型號│◕:
  • 廠商性質│◕:生產廠家
  • 更新時間│◕:2022-10-11
  • 訪  問  量│◕:1633

詳細介紹

  本公司提供高真空腔體↟◕,客戶可自行為一些實驗搭建真空系統↟◕,如等離子濺射↟◕,CVDALD等實驗↟◕,同時也可作為高真空儲存箱✘·。

 技術引數

腔體

  • 真空腔體是採用304不鏽鋼製作
  • 內部尺寸為│◕:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) 
  • 真空腔體前部安裝有一個直徑為350mm的門↟◕,而且門上面有一個直徑為150mm的玻璃視窗
  • 門部位採用矽膠密封圈密封
  • 真空度可達到1×10-6 torr
  • 內部加熱平臺的溫度可達到150

介面

  • 腔體後端有一個KF40介面↟◕,用於連線真空泵
  • 頂部有一1/4 NPS 
  • 頂板可以進行打孔和改造↟◕,以便於安裝各種介面和接頭
  • 客戶可在本公司購買快速真空接頭

可選

  • 本公司進口的防腐型數字式真空顯示計↟◕,不需因測量氣體種類不同而需要係數轉換(請點選圖片檢視詳情)
  • 分子泵系統
外形尺寸

質保期

一年質保期↟◕,終身維護

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