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3靶等離子濺射儀

簡要描述│▩✘:VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型)▩•◕·▩,基片Z大尺寸2英寸▩•◕·▩,加熱溫度為500度和控制面板為觸控式螢幕模式·╃。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺▩•◕·▩,可以依次在同一樣品上塗覆三種材料▩•◕·▩,金靶▩•◕·▩,銀▩•◕·▩,銅, 它可以與真空泵▩•◕·▩,不鏽鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

  • 產品型號│▩✘:VTC-16-3HD
  • 廠商性質│▩✘:生產廠家
  • 更新時間│▩✘:2022-10-11
  • 訪  問  量│▩✘:2078

詳細介紹

3靶等離子濺射儀技術引數

輸入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率

  • 1600VDC
  • zui大電流50mA 

樣品室

石英罩│▩✘: 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺
 

  • 一個外徑50 mm 的樣品臺可以移動三個位置 
  • 基片可以放在樣品臺上加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸控式螢幕面板▩•◕·▩,控溫精度+/-10°C 
  • zui長濺射時間不可超過5分鐘

控制面板
 

  • 控制面板為PLC▩•◕·▩,4.3觸控式螢幕
  • 一個控制面板可以控制所有的引數,包括真空度 , 電流 , 靶材位置  基片加熱溫度

可選
 

 

  • KF25 真空介面◕↟•、卡箍▩•◕·▩,和600mm長不鏽鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內)
  • 不鏽鋼波紋管與KF-25真空介面相連線
  • 各種高純度金屬靶
  • 需要一個帶壓力調節器的氬氣瓶 (這個我們不提供)

進氣口

 一個精密可調針閥安裝進氣口▩•◕·▩,以實現方便的調節進氣量



靶材

 

 

標配靶材分別有

  • 金▩•◕·▩,銀▩•◕·▩,銅 靶材: 
  • 尺寸金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可選靶材點選連結◕↟•、
    Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 淨重:50KG

質保期

一年質保期▩•◕·▩,相關耗材除外▩•◕·▩,終身維護·╃。

質量認證

   Certified

 

 

 

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