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3靶等離子濺射儀

簡要描述│▩✘：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型）▩•◕·▩，基片Z大尺寸2英寸▩•◕·▩，加熱溫度為500度和控制面板為觸控式螢幕模式·╃。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺▩•◕·▩，可以依次在同一樣品上塗覆三種材料▩•◕·▩，金靶▩•◕·▩，銀▩•◕·▩，銅, 它可以與真空泵▩•◕·▩，不鏽鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

  • 產品型號│▩✘：VTC-16-3HD
  • 廠商性質│▩✘：生產廠家
  • 更新時間│▩✘：2022-10-11
  • 訪  問  量│▩✘：2078
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詳細介紹

3靶等離子濺射儀技術引數

輸入功率
  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率
  • 1600VDC
  • zui大電流50mA 

樣品室

石英罩│▩✘： 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺
 
  • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置 
  • 基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸控式螢幕面板▩•◕·▩，控溫精度+/-10°C 
  • zui長濺射時間不可超過5分鐘

控制面板
 
  • 控制面板為PLC▩•◕·▩，4.3" 觸控式螢幕
  • 一個控制面板可以控制所有的引數,包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度

可選
 

 
  • KF25 真空介面◕↟•、卡箍▩•◕·▩，和600mm長不鏽鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內）
  • 不鏽鋼波紋管與KF-25真空介面相連線
  • 各種高純度金屬靶
  • 需要一個帶壓力調節器的氬氣瓶 （這個我們不提供）

進氣口

 一個精密可調針閥安裝在進氣口▩•◕·▩，以實現方便的調節進氣量



靶材

 

 

標配靶材分別有

  • 金▩•◕·▩，銀▩•◕·▩，銅 靶材: 
  • 尺寸: 金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可選靶材點選連結◕↟•、
    Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 淨重:50KG

質保期

一年質保期▩•◕·▩，相關耗材除外▩•◕·▩，終身維護·╃。

質量認證

   Certified

 

 

 

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