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近距離蒸發鍍膜 ( CSS)爐

簡要描述╃│✘•✘:OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發管式爐◕☁▩,專門針對於用PVD或CSS法來製作薄膜▩•│◕☁。此款管式爐爐管直徑為11" OD◕☁▩,爐管內載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片▩•│◕☁。加熱元件為兩組紅外燈管◕☁▩,分別安裝在腔體的頂端和底部◕☁▩,其升溫速率高達20?C/S ▩•│◕☁。溫控系統為PID30段程式化控制◕☁▩,控溫精度為+/-1?C▩•│◕☁。儀器面板上帶有RS485介面◕☁▩,若儀表內配有控溫軟體◕☁▩,就可將升溫程式和曲線匯出

  • 產品型號╃│✘•✘:
  • 廠商性質╃│✘•✘:生產廠家
  • 更新時間╃│✘•✘:2022-10-11
  • 訪  問  量╃│✘•✘:899

詳細介紹

技術引數

真空腔體

  • 腔體為一高純石英管
  • 尺寸╃│✘•✘:  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法蘭

  • 真空法蘭材質為316不鏽鋼製作
  • 頂部法蘭上有一KF25介面◕☁▩,可以與真空泵相連線◕☁▩,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
  • 底部法蘭上有一KF25介面◕☁▩,可以與真空泵相連線◕☁▩,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
  • 法蘭是透過兩個矽膠O型圈進行密封◕☁▩,透過機械泵其腔體內真空度可達10-2 torr◕☁▩,用分子泵其真空度可達到10-5 torr
  • 兩個法蘭都可以透過手動操作進行上下移動
  • 一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部◕☁▩,可精確測量腔體內真空度

                          (點選圖片檢視詳細資料)

混氣系統

可以選擇兩路的混氣系統於此款管式爐搭配使用(本公司生產多路浮子和多路質子混氣系統)
              
       

 

加熱元件和載樣臺

  • 由兩組IR紅外燈管進行加熱
  • 額定功率800 W     總功率╃│✘•✘:1600W 
  • 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果◕☁▩,加熱元件被嵌在水冷機構上
  • 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部
  • 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片(3"Dia x0.5mm Thick )◕☁▩,使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻
  • 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發料 

       


熱電偶

 

 

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

溫控系統

  • 兩個控溫系統都為PID30段程式化控溫
  • 可以選購PC控溫軟體◕☁▩,將溫度程式設定和溫度曲線匯入電腦中

                       

工作溫度

  • 兩個加熱區域單獨工作的zui高溫度╃│✘•✘:      <= 650ºC
  • 兩個加熱區域zui大溫差:  <= 350 ºC

加熱和冷卻速率

  • 加熱速率:   > 8 ºC /S
  • 冷卻速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

電源

208 - 240VAC, 單相(需20A的空氣開關)

可選配件

 

本公司出售真空泵和水冷系統

 

                   

質保期       

一年質保期  (不包括爐管•◕✘✘、密封圈和加熱元件損耗件 )

質量認證

  CE 

相關文獻
  • Please read article: High efficiency  CSS CdTe Solar Cell
  • UCLA researchers improve process for manufacturing highly efficient solar cells
  • Planar Heterojunction Perovskite Solar Cells via Vapor-Assisted Solution Process
  • Sub 150 °C Processed Meso-superstructured Perovskite Solar Cells with Enhanced Efficiency 
  • Best_Research-Cell_Efficiencies

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