膜厚監測儀--EQ-TM106

簡要描述☁·↟│：EQ-TM106膜厚監測儀是採用石英晶體振盪原理✘↟•☁◕，結合先進的頻率測量技術✘↟•☁◕，進行膜厚的線上監測│•·。主要應用於MBE↟·↟₪↟、OLED熱蒸發↟·↟₪↟、磁控濺射等裝置的薄膜製備過程中✘↟•☁◕，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測│•·。根據實時速率可以輸出PWM模擬量✘↟•☁◕，作為膜厚感測器使用✘↟•☁◕，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制│•·。

產品型號☁·↟│：
廠商性質☁·↟│：生產廠家
更新時間☁·↟│：2022-10-11
訪問量☁·↟│：1085

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產品分類

薄膜製備全套裝置

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詳細介紹

技術引數

主要特點

本機可與計算機連線│•·。
顯示儀具有介面簡潔↟·↟₪↟、直觀↟·↟₪↟、合理↟·↟₪↟、操作方便快捷等優點✘↟•☁◕，可直觀顯示所測的膜厚↟·↟₪↟、速率↟·↟₪↟、頻率↟·↟₪↟、PWM
控制輸出的百分比等工作狀態│•·。
透過軟體或顯示儀可對門控時間↟·↟₪↟、輸出方式↟·↟₪↟、速率演算法↟·↟₪↟、材料引數↟·↟₪↟、輸出量程及通訊引數等進行設定✘↟•☁◕，並可將所測相關資料寫入Excel檔案│•·。
具有體積超小↟·↟₪↟、測量精度高↟·↟₪↟、操作簡單↟·↟₪↟、使用方便等優點│•·。

EQ-TM106-1監測元件

電源☁·↟│：DC 5V（±10%）✘↟•☁◕，zui大電流400mA
頻率解析度☁·↟│：±0.03Hz
膜厚解析度☁·↟│：0.0136Å（鋁）
膜厚準確度☁·↟│：±0.5%✘↟•☁◕，取決於過程條件✘↟•☁◕，特別是感測器的位置✘↟•☁◕，材料應力✘↟•☁◕，溫度和密度
測量速度☁·↟│：100ms-1s/次✘↟•☁◕，可設定
測量範圍☁·↟│：500000Å（鋁）
標準感測器晶體☁·↟│：6MHz
計算機介面☁·↟│：RS-232/485序列介面（波特率1200↟·↟₪↟、2400↟·↟₪↟、4800↟·↟₪↟、9600↟·↟₪↟、19200↟·↟₪↟、38400可設定✘↟•☁◕，資料位☁·↟│：8✘↟•☁◕，停止位☁·↟│：1✘↟•☁◕，校驗☁·↟│：無）
模擬輸出☁·↟│：8位元解析度✘↟•☁◕，PWM脈寬調製輸出（集電極開路或內部5V輸出）
工作環境☁·↟│：溫度0-50℃✘↟•☁◕，溼度5%-85%RH✘↟•☁◕，不得有冷凝水珠
外形尺寸☁·↟│：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

輸入電源☁·↟│：AC 220V±10%
輸出電源☁·↟│：DC 5V 3A
顯示器☁·↟│：12×2數碼管與LED
通訊埠☁·↟│：RS-485（波特率1200↟·↟₪↟、2400↟·↟₪↟、4800↟·↟₪↟、9600↟·↟₪↟、19200↟·↟₪↟、38400可設定✘↟•☁◕，資料位☁·↟│：8位✘↟•☁◕，停止位☁·↟│：1位　✘↟•☁◕，奇偶校驗☁·↟│：無）
外形尺寸☁·↟│：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

適用晶片頻率☁·↟│：6MHz
適用晶片尺寸☁·↟│：Φ14mm
安裝法蘭☁·↟│：CF35
冷卻水管☁·↟│：Φ3mm✘↟•☁◕，長度300mm↟·↟₪↟、500mm↟·↟₪↟、1000mm
冷卻水壓☁·↟│：<0.3MPa
氣動擋板路管☁·↟│：Φ3mm
壓縮空氣壓力☁·↟│：<0.8MPa✘↟•☁◕，> >0.5MPa
烘烤溫度☁·↟│：通水狀態<200℃✘↟•☁◕，不通水狀態法蘭<100℃
電氣介面☁·↟│：BCN插座

標準配件

1	EQ-TM106-1監測元件	1個
2	EQ-TM106-2顯示儀	1臺
3	EQ-TM106-3探頭	1個

質保期

一年質保期✘↟•☁◕，終身維護

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