諮詢熱線

18255163376

當前位置☁·↟│:首頁   >  產品中心  >  薄膜製備全套裝置  >  磁控濺射鍍膜裝置  >  VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀--VTC-600-2HD

雙靶磁控濺射儀--VTC-600-2HD

簡要描述☁·↟│:VTC-600-2HD是一款帶有兩個靶頭的磁控濺射鍍膜儀✘↟•☁◕,其中一個靶頭採用直流(DC)濺射✘↟•☁◕,可濺射金屬靶材製備金屬膜✘↟•☁◕,另一個採用射頻(RF)濺射✘↟•☁◕,可濺射金屬和氧化物靶材✘↟•☁◕,製備金屬或氧化物膜.裝置上安裝有薄膜測厚儀可以實時監測薄膜的厚度│•·。此裝置可製作各種單層或多層薄膜✘↟•☁◕,如鐵電↟·↟₪↟、導電✘↟•☁◕,合金✘↟•☁◕,半導體✘↟•☁◕,陶瓷✘↟•☁◕,介電✘↟•☁◕,光學✘↟•☁◕,氧化物和PTFE薄膜等│•·。而且裝置體積較小操作方便✘↟•☁◕,是一套理想的實驗工具│•·。

  • 產品型號☁·↟│:VTC-600-2HD
  • 廠商性質☁·↟│:生產廠家
  • 更新時間☁·↟│:2022-10-11
  • 訪  問  量☁·↟│:1359

詳細介紹

技術引數

結構

(點選圖片檢視詳細資料)

輸入電源

  • 220VAC 50/60Hz, 單相
  • 2000W  (包括泵)

濺射電源

  • 安裝有兩個濺射電源
  • 直流(DC)電源☁·↟│:500W✘↟•☁◕,針對於製作金屬膜
  • 射頻(RF)電源☁·↟│:600W✘↟•☁◕,可製作氧化物和金屬膜
  • 同時可選配300W的射頻電源

磁控濺射頭

  • 儀器中安裝有2個磁控濺射頭✘↟•☁◕,而且都帶有水冷夾層✘↟•☁◕,可通入冷卻水對靶材降溫
  • 其中一個濺射頭與射頻電源相連線✘↟•☁◕,主要是濺射絕緣性靶材
  • 另一個濺射頭與直流電源相連線✘↟•☁◕,主要濺射導電性靶材
  • 靶材尺寸要求☁·↟│:金屬靶☁·↟│:直徑為50mm,zui大厚度1.5mm
  •              陶瓷靶☁·↟│:直徑為50mm,zui大厚度6mm
  • 儀器中標配一個不鏽鋼靶和氧化鋁陶瓷靶
  • 濺射頭所需冷卻水☁·↟│:流速10ml/min(儀器中配有一臺流速為16ml/min的迴圈水冷機)

也可以根據自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭✘↟•☁◕,訂購前需於本公司銷售人員

真空腔體

  • 真空腔體☁·↟│:300 mm Dia x 300 mm h✘↟•☁◕,採用不鏽鋼製作
  • 觀察視窗☁·↟│:  100 mm diameter
  • 腔體開啟方式採用上頂開✘↟•☁◕,使得換靶更加容易

載樣臺

  • 載樣臺尺寸☁·↟│:140mm dia.(zui大可放置4"的基底)
  • 載樣臺可以旋轉✘↟•☁◕,其速度為☁·↟│:1 - 20 rpm (可調)
  • 載樣臺zui高可加熱溫度為500℃✘↟•☁◕,控溫精度為+/- 1.0 °C

氣體流量控制器

  • 儀器內部安裝有2個質量流量計
  • 量程為☁·↟│:0-200sccm
  • 氣體流量設定可以在6英寸的觸控式螢幕上進行操作

真空泵系統

配有一套分子泵系統(德國製作)✘↟•☁◕,採用一鍵式操作

薄膜測厚儀

  • 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上✘↟•☁◕,可實時監測薄膜的厚度✘↟•☁◕,解析度為0.10 Å  
  • LED顯示屏顯示✘↟•☁◕,同時也輸入所製作薄膜的相關資料

外形尺寸

L1300mm× W660mm× H1200mm

重量

160 kg

質保期

一年質保期✘↟•☁◕,終生維護

 

 

 

 

產品諮詢

留言框

  • 產品☁·↟│:

  • 您的單位☁·↟│:

  • 您的姓名☁·↟│:

  • 聯絡電話☁·↟│:

  • 常用郵箱☁·↟│:

  • 省份☁·↟│:

  • 詳細地址☁·↟│:

  • 補充說明☁·↟│:

  • 驗證碼☁·↟│:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字)✘↟•☁◕,如☁·↟│:三加四=7

聯絡我們

中美合資合肥科晶材料技術有限公司 公司地址☁·↟│:安徽省合肥市蜀山區科學院路10號   技術支援☁·↟│:化工儀器網
  • 聯絡人☁·↟│:朱沫浥
  • QQ☁·↟│:2880135211
  • 公司傳真☁·↟│:86-551-65592689
  • 郵箱☁·↟│:sales@kjmti.com

掃一掃 更多精彩

微信二維碼

網站二維碼

欧美jizzhd精品欧美,国产三级a三级三级,性激烈的欧美三级视频,a级毛片免费观看在线播放