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高真空蒸發鍍膜儀需要怎樣的維護和保養·✘││·?

釋出時間│✘│:2022-08-12

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  高真空蒸發鍍膜儀可提供大100A鍍膜電流↟✘•▩•,大蒸發溫度高達1800℃↟✘•▩•,可滿足各種普通金屬和部分非金屬的蒸發↟☁▩☁·。真空室採用高純石英↟✘•▩•,易於觀察鍍膜過程↟✘•▩•,易清洗;結合分子泵組↟✘•▩•,可達到5x10-4pa的極限真空度↟✘•▩•,有效保證氣相沉積膜的純度和附著力↟☁▩☁·。
  
  全自動程式控制↟✘•▩•,彩色觸控式螢幕介面↟✘•▩•,操作簡單↟✘•▩•,可鍍金(AU)◕₪✘•↟、鉑(PT)等非氧化性貴金屬↟✘•▩•,也可鍍銥(IR)◕₪✘•↟、鉻(CR)◕₪✘•↟、鋁(AL)等細小顆粒易氧化膜材料↟☁▩☁·。特別適用於場發射電鏡◕₪✘•↟、透射電鏡樣品製備和非晶碳包覆膜/TEM網格支撐膜的製作↟✘•▩•,也可為薄膜應用等材料領域提供理想的鍍膜平臺↟☁▩☁·。那麼它需要怎樣的維護和保養·✘││·?
  
  1◕₪✘•↟、高真空蒸發鍍膜儀每完成200道以上的鍍膜工序↟✘•▩•,應清洗一次工作間↟☁▩☁·。方法是用飽和燒鹼(NaOH)溶液反覆擦洗真空室壁(注意人體皮膚不能直接接觸燒鹼溶液↟✘•▩•,以免燙傷)↟☁▩☁·。目的是使塗膜材料鋁(AL)與NaOH反應↟✘•▩•,反應後膜層脫落↟✘•▩•,釋放氫氣↟☁▩☁·。然後用清水清洗真空室↟✘•▩•,用蘸有汽油的布擦淨精抽閥內的汙垢↟☁▩☁·。
  
  2◕₪✘•↟、粗抽泵(滑閥泵和旋片泵)連續工作一個月(雨季一半)時↟✘•▩•,需要更換新油↟☁▩☁·。方法是│✘│:擰下開油螺栓↟✘•▩•,排盡舊油↟✘•▩•,然後啟動泵數秒↟✘•▩•,使泵內的舊油*排出↟☁▩☁·。擰上回油螺栓↟✘•▩•,將新油加至規定量(用油視鏡觀察)↟☁▩☁·。連續使用半年以上↟✘•▩•,換油時應開啟油蓋↟✘•▩•,用布擦淨箱內臟物↟☁▩☁·。
  
  3◕₪✘•↟、高真空蒸發鍍膜儀擴散泵連續使用6個月以上↟✘•▩•,抽速明顯慢或操作不當↟☁▩☁·。充入大氣↟✘•▩•,拆下連線水管↟✘•▩•,拆下電爐板↟✘•▩•,擰出噴嘴↟✘•▩•,用汽油清洗泵腔和泵囊↟✘•▩•,然後用洗衣粉和水清洗↟✘•▩•,再用水*清洗↟☁▩☁·。待水揮發後↟✘•▩•,裝上泵膽↟✘•▩•,加新的擴散泵油↟✘•▩•,裝回機體↟✘•▩•,接好水管↟✘•▩•,裝上電爐板↟✘•▩•,即可重新啟動↟☁▩☁·。重啟前注意漏電檢測↟☁▩☁·。方法是│✘│:啟動維護泵↟✘•▩•,關閉閘門↟✘•▩•,幾分鐘後觀察擴散泵的真空度是否達到6x10pa↟✘•▩•,或進行洩漏檢測↟☁▩☁·。檢查接頭處是否安裝密封膠圈或密封圈是否損壞↟☁▩☁·。排除潛在的漏氣後才能進行加熱↟✘•▩•,否則擴散泵油會燒壞環而不能進入工作狀態↟☁▩☁·。
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