等離子鍍膜裝置發揮的作用還真不少

　　等離子鍍膜裝置是一種小型射頻（RF）等離子磁控濺射鍍膜儀器系統✘↟。該系統包括所有必需的配件✘☁☁☁✘，如300W（13.5mhz）射頻電源✘╃、2"磁控濺射頭✘╃、石英真空室✘╃、真空泵和溫度控制器✘↟。它是製作一些金屬和非金屬的又好又便宜的實驗幫手✘↟。

　　在鍍膜領域✘☁☁☁✘，鍍膜後薄膜樣品的厚度是影響薄膜效能的重要因素✘↟。因此✘☁☁☁✘，在評價薄膜樣品的效能時✘☁☁☁✘，需要對薄膜樣品在不同厚度下的效能進行測試✘↟。等離子鍍膜裝置集成了真空鍍膜系統和手套箱系統✘☁☁☁✘，可在高真空蒸發室中完成薄膜蒸發✘☁☁☁✘，並將蒸發後的樣品在手套內的高純惰性氣體氣氛中儲存✘╃、製備和檢測盒子✘↟。蒸發鍍膜與手套箱相結合✘☁☁☁✘，實現了蒸發✘╃、封裝✘╃、測試等過程的全封閉生產✘☁☁☁✘，使整個薄膜生長和器件製備過程高度整合在一個環境氣氛可控的完整系統中✘☁☁☁✘，消除了不穩定因素的影響✘↟。有機大面積電路製備過程中的大氣環境因素✘☁☁☁✘，保證了高效能✘╃、大面積有機光電器件和電路的製備✘↟。

　　等離子鍍膜裝置精抽太慢的原因有哪些•↟？

　　1✘╃、擴散泵可能不太給力✘↟。

　　解決辦法·▩•╃│：可以用電離規單接到擴散泵泵口✘☁☁☁✘，看擴散泵單抽能達到多少✘☁☁☁✘，要看抽的時間和極限✘☁☁☁✘，然後進行對比✘↟。

　　2✘╃、真空系統有微漏✘↟。

　　解決辦法·▩•╃│：這就需要慢慢檢漏✘☁☁☁✘，看看保真空時間能不能達不達標✘↟。

　　3✘╃、箱體太髒✘☁☁☁✘，太髒放氣量就大了✘↟。

　　解決辦法·▩•╃│：清洗箱體

　　4✘╃、前級真空度不行✘☁☁☁✘，機械泵或機械泵加羅茨泵的極限真空不行✘↟。

　　解決辦法·▩•╃│：可以用電阻規單獨檢測前級管道✘↟。