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多功能試樣表面處理機能讓產品乾淨光潔✘·,不信你看▩₪◕☁!

釋出時間▩•··:2021-06-24      點選次數▩•··:521
  近年來✘·,市場對質量的要求越來越嚴格✘·,國際上對環保的要求也越來越嚴格✘·,我國許多高密度清潔行業面臨嚴峻挑戰☁☁。現在市面上出現的超聲波清洗機都無法達到改裝的效果✘·,它們只能清潔表面上的一些可見物體☁☁。由於製造過程中的各種缺陷✘·,衍生出等離子清洗機等高科技產品☁☁。多功能試樣表面處理機可以實現表面改性·₪·•、清洗和產品效能提升✘·,大大降低了產品在製造過程中造成的不良率✘·,從而提高了產品質量✘·,降低了成本等等☁☁。目前✘·,等離子清洗機給很多工業生產企業帶來了很大的便利☁☁。
  多功能試樣表面處理機將矽片置於真空反應系統中✘·,通入少量氧氣✘·,加1500V高壓✘·,高頻訊號發生器產生高頻訊號✘·,使石英管內形成強電磁場✘·,氧被電離✘·,形成氧離子·₪·•、活化氧原子·₪·•、氧分子和電子混合的等離子輝光柱☁☁。活性氧(活性原子氧)可以將聚醯亞胺薄膜迅速氧化成揮發性氣體✘·,透過機械泵將其抽走✘·,從而去除矽片上的聚醯亞胺薄膜☁☁。等離子脫膠的優點是脫膠操作簡單·₪·•、脫膠效率高·₪·•、表面乾淨光滑·₪·•、無劃痕·₪·•、成本低·₪·•、環保☁☁。
  多功能試樣表面處理機一般採用電容耦合等離子體平行板反應器☁☁。在平行電極反應器中✘·,反應離子蝕刻腔採用陰極面積小陽極面積大的非對稱設計✘·,被蝕刻的物體放置在面積較小的電極上☁☁。在射頻電源產生的熱運動作用下✘·,帶負電的自由電子質量小✘·,運動速度快✘·,迅速到達陰極;而正離子由於質量大·₪·•、速度慢✘·,不能同時到達陰極✘·,從而使陰極附近形成帶負電荷的鞘層☁☁。在護套的加速作用下✘·,正離子垂直轟擊矽片表面✘·,加速表面的化學反應和反應產物的分離✘·,產生很高的蝕刻速率☁☁。離子轟擊還可以實現各向異性蝕刻✘·,實現與等離子脫脂和等離子蝕刻相同的原理✘·,區別在於反應氣體的型別和等離子體的激發方式☁☁。

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