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小型蒸鍍儀的操作包括以下基本過程

釋出時間☁•·✘:2021-04-13      點選次數☁•·✘:778
  小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發容器中待蒸發材料的方法↟◕✘,以使原子或分子蒸發並從表面逸出以形成蒸氣流↟◕✘,進入基材或基材表面↟◕✘,然後凝結成固體膜·✘·◕↟。
  小型蒸鍍儀包括以下基本過程☁•·✘:
  (1)加熱蒸發過程☁•·✘:包括從冷凝相變為氣相的過程↟◕✘,並且每種蒸發物質在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓·✘·◕↟。
  (2)氣態原子或分子在蒸發源和基質之間的傳輸↟◕✘,即原子或分子在周圍大氣中的飛行過程·✘·◕↟。
  (3)蒸發的原子或分子在基板表面上的沉積過程·✘·◕↟。即↟◕✘,蒸發↟◕✘,冷凝↟◕✘,成核↟◕✘,成核生長↟◕✘,形成連續的膜·✘·◕↟。由於基材的溫度遠低於蒸發源的溫度↟◕✘,因此氣態分子將直接經歷從基材表面上的氣態到固態的相變過程·✘·◕↟。
 

小型蒸鍍儀

 

  小型蒸鍍儀中有兩個不同用途的蒸發頭☁•·✘:它們用金屬箱蒸出以進行碳蒸發·✘·◕↟。注意☁•·✘:使用碳棒蒸發頭時↟◕✘,一根電極線連線到儀器背面的黑孔↟◕✘,一根電極線連線到紅色孔;使用金屬蒸發頭時↟◕✘,一根電極線連線到儀器背面的黑孔↟◕✘,一根電極線連線到綠色孔·✘·◕↟。
  1↟╃、將要濺射的基材放入氣相沉積裝置的腔室中·✘·◕↟。
  2↟╃、根據所需的蒸發材料選擇金屬蒸發頭/鎢筐或碳蒸發頭↟◕✘,並按照儀器操作規程的裡德規程安裝所需的蒸發材料·✘·◕↟。使用碳棒蒸發頭時↟◕✘,一根電極線連線到儀器背面的黑孔↟◕✘,一根電極線連線到紅色孔;使用金屬蒸發頭時↟◕✘,一根電極線連線到儀器背面的黑孔↟◕✘,一根電極線連線到綠色孔·✘·◕↟。
  3↟╃、按照儀器操作規則逐步操作儀器↟◕✘,實驗結束後取出樣品·✘·◕↟。由於長期使用會在腔室周圍沉積一層厚厚的塗層↟◕✘,因此請根據實際情況及時清潔腔室·✘·◕↟。但是↟◕✘,請勿使用有機試劑(如丙酮↟◕✘,乙醇等)清潔橡膠圈↟◕✘,以免由於老化而漏氣·✘·◕↟。關閉主機電源和原點·✘·◕↟。最後↟◕✘,切斷儀器的主電源並蓋上儀器·✘·◕↟。

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