靶磁控濺射儀六大常見問題點及解決對策

　　靶磁控濺射儀在真空狀態下采用電弧放電和輝光放電工作原理↟₪│╃，金屬和非金屬工件的表面鍍有金氮化鈦↟₪│╃，黑碳化鈦↟₪│╃，彩色氮氧化鈦等↟₪│╃，也可以塗防腐膜（如AL↟₪│╃，Cr不鏽鋼和TiN等）和耐磨膜↟₪│╃，膜層牢固地結合到基板上↟··。濺射工藝用於塗覆以改善膜的粘附性↟₪│╃，可重複性↟₪│╃，密度和均勻性度等特點↟₪│╃，適用於塑膠製品↟₪│╃，陶瓷↟₪│╃，樹脂↟₪│╃，水晶玻璃製品↟₪│╃，工藝品↟₪│╃，塑膠手機殼↟₪│╃，電子產品↟₪│╃，建材等行業↟₪│╃，具有良好的發展前景↟··。

　　靶磁控濺射儀處理六個常見問題及改進對策₪·╃☁•：

　　1↟✘▩、漆膜為黑色和黑色

　　（1）真空度小於0.67Pa↟··。真空度應提高到0.13-0.4Pa↟··。

　　（2）氬氣的純度小於99.9％↟··。應該用純度為99.99％的氬氣代替↟··。

　　（3）充氣系統正在洩漏↟··。應檢查充氣系統以消除空氣洩漏↟··。

　　（4）底漆未充分固化↟··。底漆的固化時間應適當延長↟··。

　　（5）鍍層零件的脫氣量太大↟··。應當進行乾燥和密封處理↟··。

　　2↟✘▩、膜層的表面光澤較暗

　　（1）底漆固化不良或變質↟··。底漆的固化時間應適當延長或應更換底漆↟··。

　　（2）濺射時間過長↟··。應適當縮短↟··。

　　（3）濺射成膜速度過快↟··。濺射電流或濺射電壓應適當降低

　　3↟✘▩、薄膜顏色不均勻

　　（1）底漆噴塗不均勻↟··。底漆的使用方法應加以改進↟··。

　　（2）薄膜層太薄↟··。適當地增加濺射速度或延長濺射時間↟··。

　　（3）燈具設計不合理↟··。夾具設計應加以改進↟··。

　　（4）電鍍零件的幾何形狀太複雜↟··。鍍層零件的旋轉速度應適當提高↟··。

　　4↟✘▩、薄膜起皺並破裂

　　（1）底漆噴塗得太厚↟··。應控制在7-10tan厚度範圍內↟··。

　　（2）塗料的粘度太高↟··。應適當減少↟··。

　　（3）蒸發速度太快↟··。應該適當放慢速度↟··。

　　（4）膜層太厚↟··。濺射時間應適當縮短↟··。

　　（5）鍍層部分的溫度太高↟··。鍍層部件的加熱時間應適當縮短↟··。

　　5↟✘▩、薄膜表面上有水印↟₪│╃，指印和灰塵顆粒↟··。

　　（1）清潔後↟₪│╃，鍍層部件不帶電↟··。應加強鍍前處理↟··。

　　（2）水滴或唾液濺到電鍍部件的表面↟··。要加強文明生產↟₪│╃，操作人員要戴口罩↟··。

　　（3）塗上底漆後↟₪│╃，用手觸控鍍層部分↟₪│╃，在表面上留下指紋↟··。嚴禁用手觸控鍍層部件的表面↟··。

　　（4）油漆中有顆粒↟··。油漆應過濾或更換↟··。

　　（5）靜電除塵器發生故障↟₪│╃，或者在噴塗和固化環境中出現顆粒灰塵↟··。應更換集塵器↟₪│╃，並保持工作環境清潔

　　6↟✘▩、靶磁控濺射儀膜的附著力差

　　（1）鍍層零件的脫脂和脫脂未完成↟··。應加強鍍前處理↟··。

　　（2）真空室不乾淨↟··。應當清潔真空室↟··。值得注意的是↟₪│╃，在裝卸靶材過程中↟₪│╃，嚴禁用手或不潔物體接觸磁控管源↟₪│╃，以確保磁控管源具有較高的清潔度↟₪│╃，這對於提高結合力非常重要↟··。電影的措施之一↟··。

　　（3）夾具不乾淨↟··。夾具應清潔↟··。

　　（4）底漆選擇不當↟··。應更換油漆↟··。

　　（5）濺射工藝條件控制不當↟··。濺射工藝條件應改善↟··。