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3靶等離子濺射儀操作使用步驟

釋出時間│•:2017-11-08      點選次數│•:1458
  3靶等離子濺射儀的使用分3個步驟•◕☁,即裝樣品•▩☁、抽真空•▩☁、濺射•◕☁,待廠家為您一一講解│•:

3靶等離子濺射儀


  一•▩☁、裝樣品
  1•▩☁、充氣│•:開啟充氣旋鈕•◕☁,使得空氣進入鐘罩▩☁▩✘。
  2•▩☁、開電源總開關•◕☁,接通電源▩☁▩✘。
  3•▩☁、升鐘罩│•:將“升”開關撥到下方•◕☁,待鐘罩升到合適位置時•◕☁,按住“停”按鈕•◕☁,鐘罩停止上升•◕☁,將“升”開關撥回到上方▩☁▩✘。
  4•▩☁、放樣品│•:將放有樣品的載物臺固定到鐘罩中▩☁▩✘。
  5•▩☁、降鐘罩│•:按一下“降”按鈕•◕☁,鐘罩開始往下降•◕☁,降到適當的位置使得鐘罩密封時自動停止▩☁▩✘。(注意•◕☁,在鐘罩將要降到底時可以在前邊稍往上抬鐘罩•◕☁,以保證鐘罩的密封效果•◕☁,利於後面的真空抽取▩☁▩✘。)
  6•▩☁、將充氣旋鈕旋緊▩☁▩✘。
  二•▩☁、抽真空
  1•▩☁、抽低真空│•:樣品裝好後•◕☁,再一次確認充氣旋鈕已旋緊▩☁▩✘。然後將電源開關旋鈕打到機械泵•◕☁,開啟低真空計▩☁▩✘。
  2•▩☁、(逆時針)旋轉管道閥門Ⅰ•◕☁,在旋轉到zui滿時迴旋1-2圈;過一會後(一般這時候真空機壓強在10Pa左右)•◕☁,逆時針旋轉開啟管道閥門Ⅱ▩☁▩✘。
  3•▩☁、上面步驟完成後•◕☁,機械泵抽一段時間後•◕☁,當真空計讀數在6-5Pa左右時•◕☁,可開啟擴散泵▩☁▩✘。
  4•▩☁、通冷卻水•◕☁,再將電源開關旋到擴散泵▩☁▩✘。
  5•▩☁、約半小時後•◕☁,關閉管道閥門Ⅰ•◕☁,(逆時針•▩☁、開啟開啟擴散泵旋鈕(至滿迴旋1-2圈•▩☁、▩☁▩✘。這時候低真空計壓強將會突然變大•◕☁,待壓強再一次回到
  10Pa後•◕☁,開啟高真空計(方法看下一步•▩☁、▩☁▩✘。
  6•▩☁、抽高真空│•:按下高真空計電源開關•◕☁,再按下燈絲按鈕;將壓強檔打到10-1檔•◕☁,抽真空到壓強小於1×10-1Pa時•◕☁,可打到10-2檔•◕☁,依次類推•◕☁,知道滿足自己的需要(一般zui大能達到×10-3檔•▩☁、▩☁▩✘。
  三•▩☁、濺射
  1•▩☁、先講濺射裝置開啟•◕☁,有加速電壓•▩☁、中和電壓•▩☁、陰極電流和陽極電壓▩☁▩✘。(注意還有外接的毫安表•◕☁,這是用來測試流過靶材的電流▩☁▩✘。•▩☁、
  2•▩☁、先將真空計迴旋一檔(×10-2•▩☁、•◕☁,通A氣•◕☁,當達到滿足的要求時位置(通氣時要慢慢的旋轉通氣旋鈕•◕☁,防止通氣忽大忽小不易控制▩☁▩✘。•▩☁、
  3•▩☁、調加速電壓(如200V)•◕☁,屏級電壓(如1000V)•◕☁,陰極電流(如12A)和陽極電壓(如55V)進行濺射▩☁▩✘。(調劑經驗│•:在加速電壓調好後•◕☁,先調節屏級電壓到要求值•◕☁,然後調節陰極電流和陽極電壓到比預定值稍小•◕☁,zui後透過協調這三個旋鈕調出束流▩☁▩✘。一般調出束流後•◕☁,屏級電壓調至合適就不要再跳•◕☁,陰極電流對束流的影響較大•◕☁,當束流合適後•◕☁,也不易再跳•◕☁,主要透過陽極電壓來控制束流為一定值▩☁▩✘。)
  4•▩☁、濺射到要求時間後•◕☁,將陰極電流•▩☁、陽極電壓和屏級電壓旋到zui小•◕☁,等到屏級電壓顯示值為零時•◕☁,關閉他們對應的電源開關▩☁▩✘。
  5•▩☁、將高真空計檔打到10-1檔•◕☁,關高真空計燈絲和電源開關•◕☁,關低真空計▩☁▩✘。
  6•▩☁、旋緊擴散泵旋鈕•◕☁,將電源開關由擴散泵打到機械泵•◕☁,繼續通冷卻水▩☁▩✘。
  7•▩☁、待大約半小時以後•◕☁,擴散泵冷卻•◕☁,關閉機械泵•◕☁,關總電源開關•◕☁,關冷卻水▩☁▩✘。

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